OMRON聲波傳感器選型原則E3Z-T81

光源(發(fā)光波長) GaAs紅外發(fā)光二級管(脈沖燈亮)(940nm)
電源電壓 DC5～24V±10% 紋波(p-p) 5%以下
環(huán)境溫度范圍工作時-10～+55保存時：-25～+65℃
電極開路輸出、DC5～24V、100mA以下、關(guān)機電流0.5mA以下
殘留電壓：0.8V以下(負(fù)載電流100mA時)
殘留電壓：0.4V以下(負(fù)載電流40mA時)
關(guān)機電流0.5mA以下殘留電壓1.0V以下(負(fù)載電流80mA時)
光源(發(fā)光波長) aAs紅外發(fā)光二級管(940nm)
電源電壓  DC12～24V±10% 紋波(p-p) 5%以下

OMRON聲波傳感器選型原則E3Z-T81
標(biāo)準(zhǔn)檢測物體)  0～5mm (反射率90% 白色畫紙15×15mm2)
殘留電壓0.4V以下(負(fù)載電流10mA時)
0～3mm (反射率10% 黑紙15×15mm2)
檢測物體  晶圓片托架(透明物體、不透明物體)
環(huán)境濕度范圍 工作時585%RH保存時： 5～95%RH
振動(耐久) 10～55Hz 上下振幅1.5mmX、Y、Z個方向2h
沖擊(耐久) 500m/s2 X、Y、Z個方向3次
消耗電流平均值15mA以下、值50mA以下
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂
*的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架
控制輸出 NPN電壓輸出負(fù)載源電壓DC5～24V負(fù)載電流80mA以下